1.豐富的配置，多種尺寸行程，滿足不同客戶的應(yīng)用需求；

2.精密的三角梁結(jié)構(gòu)，穩(wěn)定性好，剛性強(qiáng)；

3.燕尾型導(dǎo)軌，閉環(huán)結(jié)構(gòu)，運(yùn)行穩(wěn)固；

4.德國(guó)海德漢光柵，一端固定，一端彈性連接，保證了光柵隨溫度波動(dòng)的線性變化；

5.獨(dú)有的氣動(dòng)平衡技術(shù)，提高了測(cè)量機(jī)的精度和穩(wěn)定性；

6.遠(yuǎn)置的電機(jī)，減小了電機(jī)發(fā)熱對(duì)測(cè)量機(jī)精度的影響；

7.輕質(zhì)量的外罩減少了整機(jī)的重量，從而提高了效率；

8.緊湊型優(yōu)化設(shè)計(jì)，對(duì)安裝空間的要求最小化。

E0：自1.7 μm起